【会议论文】利用氢气快速热退火提高非晶态In₂O₃薄膜晶体管的性能

        论文简介：来自阿卜杜拉国王科技大学高级半导体实验室的Na Xiao、Chuanju Wang、Saravana Yuvraja和 Xiaohang Li联合发表的一篇名为《Enhanced performance of amorphous In₂O₃ thin film transistors using hydrogen rapid thermal annealing》的论文文章。该文章介绍了提高非晶态In₂O₃薄膜晶体管的性能。