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【会议论文】检验溶液处理后Ga₂O₃薄膜的适当杂质掺杂和退火条件

日期:2023-04-25阅读:218

        论文简介:来自同志社大学电子系的Akihiro Momota、Takuya Shibahara、ChenYiZhan Li和Naoki Ohtani联合发表了一篇名为《Examination of proper impurity doping and annealing conditions for solution processed Ga2O3 thin films》的论文文章。检验溶液处理后Ga2O3薄膜的适当杂质掺杂和退火条件。