【会员新闻】展会邀约 | 山东力冠邀请您参加第二十届全国晶体生长与材料学术会议

        本次展会，山东力冠微电子将携多款自主研发的晶体生长核心装备、半导体热处理设备亮相展台，聚焦半导体芯片、化合物半导体单晶量产需求，展示国产晶体生长设备技术实力。

一、12寸立式炉

        覆盖硅基晶圆氧化、扩散、退火、LPCVD、ALD等全套核心热处理工艺，依托自主整机集成、高精度温场均衡控制、高洁净真空腔体设计，设备具备批次一致性强、薄膜均匀性优异、机台长期运行稳定等特点。整机软硬件高度自主可控，适配国内晶圆产线国产化改造需求，搭配自主化技术支持体系，可为逻辑芯片、功率器件、存储芯片产线提供高可靠装备。

二、晶体生长设备

        1.PVT法晶体生长设备：适配碳化硅等宽禁带半导体单晶制备，精准温场闭环控制，提升单晶完整性与良率，助力SiC衬底规模化国产化；

        2.HVPE法晶体生长设备：适配氮化镓、氧化镓外延层高质量生长，热场均匀性优异，适配功率器件、射频器件外延工艺；

        3.VB/VGF晶体生长设备：用于磷化铟、砷化镓晶体、光电功能晶体、化合物半导体单晶生长，自动化程度高，工艺稳定性强。

        深耕化合物半导体与晶体生长装备赛道多年，山东力冠微电子装备有限公司已构建从热场仿真、核心零部件自研、整机集成到工艺联合验证的完整技术体系，深度匹配碳化硅、氮化镓、磷化铟、氧化镓等新一代半导体材料产业化生长需求，以装备自主化破解晶体产业上游瓶颈。我们期待与每一位深耕晶体材料领域的前辈与同行面对面深度探讨，碰撞技术思路，凝聚产业合力，一同为国内人工晶体事业的蓬勃发展聚力前行。