【会员新闻】技术突破 | 富加镓业6英寸氧化镓晶锭等径厚度逾70 mm

日期：2026-08-24阅读：213

近日，富加镓业采用自主垂直布里奇曼法（VB法）成功生长出厚度超70 mm的6英寸氧化镓单晶晶锭，经平湖实验室HRXRD检测，结晶质量优异；同时经中国计量科学研究院检测，电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。

晶锭厚度突破70 mm，产业化优势进一步凸显

晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标，更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片，直接降低单片成本。

该6英寸晶锭厚度经中国计量科学研究院权威检测，晶锭厚度平均值70.58 mm ，已超过主流碳化硅晶锭20-50 mm的高度。

HRXRD多点测试表明晶体质量优异

平湖实验室对VB氧化镓衬底进行了HRXRD多点摇摆曲线测试，结果如下：

VB法6英寸衬底HRXRD多点摇摆曲线测试

5个点位的FWHM均值为38.71 arcsec，均低于50 arcsec，表明衬底整体结晶质量优异。

电学性能经第三方权威认证

电阻率是影响器件正向导通效果的关键参数，其均匀性决定了器件性能的一致性，是量产良率的重要保障。中国计量科学研究院对该6英寸衬底进行了电学性能检测，电阻率均值：16.4 mΩ·cm ，均匀性：6.8%。

VB法6英寸衬底电学性能测试

测试结果表明，该电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。

亮相全国晶体生长与材料学术会议

值得关注的是，第二十届全国晶体生长与材料学术会议于2026年8月22-25日在山东省济南市南郊宾馆召开，由中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会主办、山东大学承办。上海光机所研究员、富加镓业董事长齐红基将在大会上作主题报告《氧化镓单晶及外延材料产业化现状浅析》，分享氧化镓产业化的最新进展。

届时，富加镓业将在会议同期展览中设立展台，携带众多款不同晶向的2-8英寸氧化镓衬底及外延产品集中亮相，涵盖(100)、(010)、 (001) 、(011)等多种晶面取向，欢迎各位专家学者和同行莅临展台交流指导。泉城济南，共赴一场人工晶体学术盛会

2inch氧化镓衬底

6inch氧化镓衬底

从晶锭厚度的持续突破，到晶体质量与电学性能的全面验证，富加镓业正快速推进氧化镓产业化进程，让世界用上好材料，我们一直在努力。

关于我们

杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年12月31日，公司以"让世界用上好材料"为愿景，致力于超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化。公司为国家级高新技术企业、浙江省专精特新中小企业、"准独角兽"企业，承担了国家科技部、发改委、工信部等国家级、省部级项目多项，获国际国内专利授权65项，是国内氧化镓领域国家标准的发起单位和首个国标起草单位。公司在推动氧化镓产业化方面取得的系列重要成果已获CCTV、《人民日报》、新华网、《科技日报》、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体宣传报道。