【会员新闻】富加镓业6英寸氧化镓批量衬底片引发行业高度关注

日期：2026-08-31阅读：124

2026年8月22~25日，第二十届全国晶体生长与材料学术会议（CCCG-20）在济南举行。杭州富加镓业科技有限公司携重磅产品亮相同期展会，这是公司首次公开披露6英寸氧化镓晶锭等径厚度逾70 mm这一突破性进展细节，同时也是首次批量展出6英寸衬底片，引发全行业高度关注。

晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标。富加镓业采用自主垂直布里奇曼（VB）法生长出厚度超70 mm的6英寸氧化镓单晶晶锭，【技术突破 | 富加镓业6英寸氧化镓晶锭等径厚度逾70 mm】，在本次展会上首次推出批量6英寸衬底片。

图1 富加镓业批量6英寸衬底片

深圳平湖实验室HRXRD多点测试显示，衬底片5个点位FWHM均值仅38.71 arcsec，均低于50 arcsec；中国计量科学研究院电学性能检测显示，电阻率均值16.4 mΩ·cm，均匀性达6.8%。

早在2025年10月，富加镓业已实现6英寸氧化镓衬底片的供货。更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片，单片成本显著降低。此次超厚晶锭及其批量衬底片的集中展出，标志着公司批量供货能力的稳步提升。

图2 6英寸衬底HRXRD多点摇摆曲线测试结果

展台还集中展示了涵盖（100）、（010）、（001）、（011）等多种晶面取向的2-8英寸衬底及外延产品。

展台吸引了众多院士、专家学者及产业界人士驻足交流。富加镓业正以全球领先的超厚晶锭与批量6英寸衬底供应能力，持续巩固其在氧化镓产业化赛道上的领跑地位。

关于我们

杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年12月31日，公司以"让世界用上好材料"为愿景，致力于超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化，是全球唯一公开报道12英寸氧化镓单晶的企业，公司为国家级高新技术企业、浙江省专精特新中小企业、"准独角兽"企业，承担了国家科技部、发改委、工信部等国家级、省部级项目多项，获国际国内专利授权65项，是国内氧化镓领域国家标准的发起单位和首个国标起草单位。公司在推动氧化镓产业化方面取得的系列重要成果已获CCTV、《人民日报》、新华网、《科技日报》、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体宣传报道。