【其他论文】利用同步辐射博尔曼效应 X 射线拓扑断层成像技术对 β-Ga₂O₃ 晶格缺陷进行三维可视化

        由日本‌三重大学的研究团队在学术期刊 Applied Physics Letters 发布了一篇名为Three-dimensional visualization of lattice defects in β-Ga₂O₃ via synchrotron-radiation Borrmann-effect X-ray topo-tomography （利用同步辐射博尔曼效应 X 射线拓扑断层成像技术对 β-Ga₂O₃ 晶格缺陷进行三维可视化）的文章。

摘要

        β-Ga₂O₃ 是下一代功率电子器件的有前景的材料；然而，其性能受到位错等晶格缺陷的严重影响。在本研究中，该团队利用透射 X 射线形貌术中的双束博尔曼效应条件，通过同步辐射 X 射线形貌术，实现了 β-Ga₂O₃ 中位错的三维（3D）可视化。通过围绕衍射矢量旋转样品并在不同旋转角度下获取一系列形貌图像，捕捉到位错对比度的演变，从而直观、深度分辨地展示了位错。该方法能够清晰地分离肖特基势垒二极管结构中外延层和基底中的位错，深入揭示了位错的传播及其对外延生长和器件性能的影响。本研究首次展示了 β-Ga₂O₃ 中位错的三维重建。

原文链接：

https://doi.org/10.1063/5.0339598