【会议论文】直径100毫米的β-Ga₂O₃外延片的结晶度改进

        论文简介：来自日本NCT的C.-H. Lin、K. Ema、S. Masuya、Q. T. Thieu、R. Sakaguchi、K. Sasaki和A. Kuramata联合发表的一篇名为《Crystallinity improvement of 100-mm-diameter β-Ga₂O₃ epitaxial wafer》的论文文章。该文章介绍直径100毫米的β-Ga₂O₃外延片的结晶度改进。