【会议论文】通过MOVPE实现(100)β-Ga₂O₃的外延生长：实验和机器学习方法

        论文简介：来自德国IKZ的Ta-Shun Chou、Saud Bin Anooz、Raimund Grüneberg、Thi Thuy Vi Tran、Jana Rehm、Zbigniew Galazka、Palvan Seyidov、Klaus Irmscher、Natasha Dropka、Wolfram Miller、Martin Albrecht、Jutta Schwarzkopf和Andreas Popp联合发表了一篇名为《Epitaxial Growth of (100) β-Ga₂O₃ by MOVPE: Experimental and machine learning approach》的论文文章。该文章介绍通过MOVPE实现(100)β-Ga₂O₃的外延生长：实验和机器学习方法。