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【会议论文】喷墨打印Ga₂O₃薄膜用于深紫外光检测器的柔性和耐热

日期:2023-06-25阅读:191

        论文简介:来自中国科学技术大学微电子学院和西湖大学工学院3D微纳加工和表征研究重点实验室的Mengfan Ding、Kun Liang、Xiaolong Zhao、Bowen Zhu和Shibing Long联合发表了一篇名为《Inkjet-printed Ga2O3 films for flexible and heat-resistant deep ultraviolet photodetector》的论文文章。该文章介绍喷墨打印Ga2O3薄膜用于深紫外光检测器的柔性和耐热。