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【会议论文】等离子体辅助MBE法在(110)β-Ga₂O₃衬底上外延生长

日期:2023-07-28阅读:179

        论文简介:来自加州大学圣芭芭拉分校材料系的Takeki Itoh、Akhil Mazue、Yuewei Zhang和James S. Speck联合发表了一篇名为《β-Ga2O3 epitaxial growth on (110) substrate by plasma-assisted molecular beam epitaxy》的论文文章。该文章介绍了等离子体辅助MBE法在(110)β-Ga2O3衬底上外延生长。