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【会议论文】在等离子体辅助分子束异质外延中通过In介导的金属交换催化实现κ-和β-Ga₂O₃的相位选择性生长

日期:2023-07-28阅读:169

        论文简介:来自莱布尼茨学会保罗-德鲁德固体电子学研究所、亚琛工业大学物理化学研究所和帕尔马大学数学、物理和计算机科学系的A. Ardenghi、O. Bierwagen、J. Lähnemann、A. Falkenstein、M. Martin和P. Mazzolini联合发表了一篇名为《Phase-selective growth of κ- and β-Ga2O3 by In-mediated metal exchange catalysis in plasma-assisted molecular beam heteroepitaxy》的论文文章。该文章介绍了在等离子体辅助分子束异质外延中通过In介导的金属交换催化实现κ-和β-Ga2O3的相位选择性生长。