【国际论文】喷雾热解过程参数对β-Ga₂O₃微结构性质的影响

        由德国开姆尼茨工业大学的研究人员在科学期刊《MDPI》上发布了名为The Influence of Process Parameters on the Microstructural Properties of Spray-Pyrolyzed β-Ga₂O₃（喷雾热解过程参数对β-Ga₂O₃微结构性质的影响）的论文。

内容摘要

        此次采用了低成本技术超声雾化和喷涂涂覆。使用Ga(NO₃)₃溶液进行β-Ga₂O₃微结构和薄膜的沉积。通过改变沉积参数，控制了β-Ga₂O₃微结构的形状。采用超声雾化得到了微球体。通过喷涂涂覆浓缩和稀释前驱体溶液，制备了微片和漩涡。从水-乙醇混合物中获得圆形薄片，并通过增加沉积周期的数量将其卷成管状。增加乙醇-水比例可在最佳Ga(NO₃)₃浓度为0.15 M和基板温度为190°C的条件下形成连续的薄膜。在环境气氛下，通过热退火1000°C可得到单斜晶系的β-Ga₂O₃。采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和UV-Raman光谱技术对这些微结构进行表征。在XRD研究中，除了相信息外，还使用sin2(ψ)方法确定了残余应力值。拉曼光谱证实了β-Ga₂O₃相和不同微结构的Raman模式的相对位移可以部分归因于残余应力。高频Raman模式证明比低频拉曼模式更加敏感于位移和展宽。