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【国际论文】α-Ga₂O₃在实际设备应用方面的进展

日期:2023-08-25阅读:207

        近日,由日本立命馆大学、京都大学和FLOSFIA组成的研究团队在科学期刊《IOP Science》上发表的名为Progress in α-Ga2O3 for practical device applications(α-Ga2O3在实际设备应用方面的进展)的论文文章。

内容摘要

        本文综述了在蓝宝石上生长的α-相氧化镓(α-Ga2O3)在低成本和实用设备应用方面的最新进展。该综述主要关注以下几个方面:(i)异质外延形成的位错,(ii)p型导电性(β-Ga2O3的普遍问题),(iii)由于α-Ga2O3的亚稳相而导致热的不稳定性,并讨论了克服这些问题的努力。结果显示,位错密度(<1 × 108cm-2)的准则,以便在电子传输中掩盖位错散射,为此我们提到了缓冲层和外延侧向过长。准垂直肖特基势垒二极管(SBD)在低电流密度下表现出对缺陷不敏感的电流-电压特性。我们还展示了与α-相铱酸化物(α-Ir2O3)或α-(Ir,Ga)2O3形成的异质结pn二极管以及提高α-Ga2O3热稳定性的方法。最新的器件特性,如低导通电阻和大电流SBD以及具有1400 V高反向电压的pn结,表明α-Ga2O3基设备有着良好的发展前景。

原文链接:https://doi.org/10.35848/1347-4065/acd125