【国际论文】采用石墨烯电极的 β-Ga₂O₃ 器件的小型化前景

        近期，由捷克科学院光子学与电子学研究所的研究团队在学术期刊 Materials Science in Semiconductor Processing 发布了一篇名为Perspectives of miniaturization of β-Ga₂O₃ devices with graphene electrodes（采用石墨烯电极的 β-Ga₂O₃ 器件的小型化前景）的文章。

摘要

        通过将石墨烯层转移到 (-201) 和 (010) 体相氧化镓衬底上，制备了微米级的圆形石墨烯/β-Ga₂O₃ 结构。使用聚焦离子束刻蚀技术来缩小石墨烯/β-Ga₂O₃ 结的面积，并在扫描电子显微镜腔室中采用纳米探针方法进行电学表征。这种方法有效地抑制了石墨烯中缺陷对结电气特性的影响。研究进一步表明，在(-201)和 (010) 氧化镓表面上制备的结构之间存在显著差异。通过数值拟合测量数据，根据所施加的偏压和氧化镓表面的取向区分出几种电荷传输机制。

原文链接：https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108343