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【国际论文】用激光二极管浮区(LDFZ)法生长直径为 30 mm β-Ga₂O₃ 晶体

日期:2024-07-25阅读:174

        近期,由日本国家先进工业科学技术研究所(AIST)的研究团队在学术期刊Journal of Crystal Growth发布了一篇名为Growth of β-Ga2O3 crystal with a diameter of 30 mm by laser-diode-heated floating zone (LDFZ) method(用激光二极管浮区(LDFZ)法生长直径为 30 mm β-Ga2O3晶体)的文章。

摘要

        为了研究高功率激光加热对浮区(FZ)法的影响,使用新开发的配备20kW激光二极管(LD)系统作为热源的光学系统,通过LDFZ法生长了β-Ga2O3晶体。生长从直径为7mm的无孪籽晶开始,逐渐将晶体直径增加到30mm。在增加晶体直径的过程中,切换了三种光束强度分布模式,以局部和集中加热整个熔融区。通过光学系统的变焦和氧化铝圆柱的部分阻挡,调整了照射样品的五束光束的强度分布。通过适当调整光束分布和选择进料棒的直径,熔融区得以稳定,避免了重力的影响。获得的晶体具有层状纹理,没有明显的晶面或裂纹。它几乎保持了种晶体的晶体取向,但除了靠近种晶体的无孪晶区域外,其余部分存在孪晶。

原文链接:https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2024.127673