【国际论文】β-氧化镓薄膜的深紫外光各向异性

        近期，美国得克萨斯理工大学的研究团队在学术期刊ACS Omega发布了一篇名为Deep Ultraviolet Optical Anisotropy of β-Gallium Oxide Thin Films（β-氧化镓薄膜的深紫外光各向异性）的文章。

摘要

        β-氧化镓（β-Ga₂O₃ ）是一种具有超宽带隙的材料，在电子学、深紫外（DUV）光电子学及光学方面有着广阔的应用前景。β-Ga₂O₃的单斜晶体结构导致其对不同偏振状态的入射光具有光学各向异性，这一特性可以在DUV中引导不同的光学应用。本文研究了通过脉冲激光沉积技术在不同晶体取向的蓝宝石衬底上生长的β-Ga₂O₃薄膜的光学特性。通过反射率和拉曼光谱测定，发现在r切面蓝宝石衬底上沉积的β-Ga₂O₃薄膜表现出显著的平面内偏振各向异性。相比之下，在c切面蓝宝石衬底上沉积的β-Ga₂O₃薄膜表现出各向同性的光学特性。

图 1. (a) β-Ga₂O₃/c 切面和 (b) β-Ga₂O₃/r 切面的 HRXRD 2θ-θ 扫描图。插图显示了 (-402) (a) 和 (402) (b) 处峰值的放大图。

图 2. (a) β-Ga₂O₃/c 切割和 (b) β-Ga₂O₃/r 切割的扫描电镜图像。

DOI：doi.org/10.1021/acsomega.3c10280