【国内论文】兰州理工大学研究团队对图案化蓝宝石衬底和平坦蓝宝石衬底上生长的 β-Ga₂O₃ 日盲光电探测器的性能研究与比较

        近期，由兰州理工大学的研究团队在学术期刊crystals发布了一篇名为Investigation and Comparison of the Performance for β-Ga₂O₃ Solar-Blind Photodetectors Grown on Patterned and Flat Sapphire Substrate（在图案化蓝宝石衬底和平坦蓝宝石衬底上生长的 β-Ga₂O₃ 日盲光电探测器的性能研究与比较）的文章。

摘要

        Ga₂O₃ 具有大带隙，是一种适合用于日盲光检测的有前途的材料。与 Ga₂O₃ 具有较高晶格匹配度的蓝宝石被用作Ga₂O₃外延生长的衬底。在这里，Ga₂O₃的外延层是通过 MOCVD 沉积在图案化的蓝宝石衬底上的。通过 X 射线衍射仪确定了图案化衬底上Ga₂O₃外延层的结构。为了研究图案化衬底对外延层形成的影响，在相同的条件下在平坦的蓝宝石衬底上生长了Ga₂O₃薄层。两种样品均为β相。然而，在使用图案化蓝宝石衬底时，并未发现层的结晶质量有任何改善。此外，还比较了两种Ga₂O₃光电探测器的性能。扁平样品的光电特性，如响应率、响应速度和检测能力，都有所不同。

图 1. (a) PSS、(c) 沉积在 PSS 上的 Ga₂O₃ 薄膜和 (e) 沉积在 FSS 上的 Ga₂O₃薄膜的俯视扫描电镜图像。(b) PSS、(d) 沉积在 PSS 上的 Ga₂O₃ 薄膜和 (f) 沉积在 FSS 上的 Ga₂O₃薄膜的截面 SEM 显微照片。