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【国内论文】揭示 Ti 和 Ga₂O₃ 纳米线之间的界面工程动力学
日期:2024-09-20阅读:174
近期,台湾清华大学的研究团队在学术期刊Applied Surface Science发布了一篇名为Unveiling interface engineering dynamics between Ti and Ga2O3 nanowire(揭示 Ti 和 Ga2O3 纳米线之间的界面工程动力学)的文章。
摘要
在本研究中,我们通过原位透射电子显微镜(TEM)观察,研究了Ga2O3纳米线(NWs)和钛(Ti)接触在退火过程中界面反应。在Ti/Ga2O3界面处观察到薄的Ga3Ti2金属间化合物的形成,并且在470 °C退火后,纳米线器件的接触行为从肖特基转变为欧姆接触。通过原位TEM监测Ga3Ti2层的演变,发现Ga原子是Ga2O3 NW中的主要扩散物质,这从界面的非对称扩散中得到了证明。Ga3Ti2金属间化合物有效降低了Ga2O3 NW和Ti电极之间的能垒,有助于线性电传输特性的形成。本研究强调了界面工程的重要性,并为未来利用Ga2O3 NW的电子应用提供了宝贵的见解。
原文链接:https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.160612